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磁控濺射靶材透磁率測(cè)量解決方案

2024-01-30 15:59:03

項(xiàng)目背景

  磁控濺射靶材主要應(yīng)用于電子及信息產(chǎn)業(yè),如集成電路、信息存儲(chǔ)、液晶顯示屏、激光存儲(chǔ)器、電子控制器件等;亦可應(yīng)用于玻璃鍍膜領(lǐng)域;還可以應(yīng)用于耐磨材料、高溫耐蝕、高檔裝飾用品等行業(yè)。透磁率可以作為評(píng)估磁性靶材透磁性能的有效指標(biāo),其測(cè)試方法還沒有相應(yīng)的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),很大程度上制約了國(guó)內(nèi)磁性濺射靶材的研發(fā)、制作及工業(yè)化生產(chǎn)。
 

解決方案

1、測(cè)試設(shè)備:CIM-3140RMT透磁率測(cè)量裝置 CIM-3140RMT透磁率測(cè)量裝置是一款樣品透磁測(cè)量設(shè)備,主要用于磁性濺射靶材包括PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp、 %PTFstdev等參數(shù)測(cè)量,并對(duì)測(cè)試結(jié)果進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析,可繪制PTF曲線圖、%PTF曲線圖。 具有文件管理、測(cè)試和數(shù)據(jù)(圖形)輸出等功能, 可滿足用戶對(duì)磁性濺射靶材的測(cè)試、數(shù)據(jù)(報(bào)告)輸出及數(shù)據(jù)管理等需求。





2、設(shè)備特點(diǎn)

  • ⑴、RMTest透磁測(cè)量系統(tǒng)為綠色軟件,無需繁瑣的安裝過程。
  • ⑵、測(cè)量軟件運(yùn)行于Windows XP或 Win 7 操作系統(tǒng)下,符合Windows軟件規(guī)范,操作直觀簡(jiǎn)捷。
  • ⑶、采用橫向探頭測(cè)量樣品表面的透磁。
  • ⑷、磁強(qiáng)計(jì)具備自動(dòng)清零功能,能一鍵對(duì)表頭零點(diǎn)進(jìn)行清零。
  • ⑸、可在軟件界面選擇磁場(chǎng)測(cè)試量程,無需通過手動(dòng)按鍵切換量程檔位。
  • ⑹、測(cè)試結(jié)果包含PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp等。
  • ⑺、可導(dǎo)入多組數(shù)據(jù)進(jìn)行多個(gè)半徑曲線對(duì)比。
  • ⑻、測(cè)試結(jié)果在PTF或%PTF坐標(biāo)上可以通過雙擊波形調(diào)出單點(diǎn)捕捉功能,可以在軟件界面最下方顯示鼠標(biāo) 當(dāng)前選中位置點(diǎn)的相對(duì)角度和磁場(chǎng)強(qiáng)度值。
  • ⑼、儀器自帶水平儀。
  • ⑽、支持各種型號(hào)的噴墨或激光打印機(jī),可直接打印測(cè)試報(bào)告。
  • ⑾、可直接通過E-mail發(fā)送彩色的測(cè)試報(bào)告。
  • ⑿、有數(shù)據(jù)庫功能,可將測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到EXCEL中,便于對(duì)測(cè)試結(jié)果進(jìn)行分析。
  • ⒀、可將測(cè)試報(bào)告轉(zhuǎn)換(保存)為圖片文件,以方便在論文中插圖。


 3、主要技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目

指標(biāo)

系統(tǒng)控制

PC+6616PX 16位數(shù)據(jù)采集卡

X單軸行程

0-250mm,電動(dòng)調(diào)節(jié)

Z單軸行程

0-200mm,手動(dòng)調(diào)節(jié)

R旋轉(zhuǎn)軸

角度刻線間隔5度,旋轉(zhuǎn)速度1-6度/秒可調(diào)

測(cè)試時(shí)間

測(cè)試時(shí)間可調(diào),最快60秒/圈

測(cè)量范圍

試樣外徑Φ100mm∽Φ600mm、高度≤50mm

磁強(qiáng)計(jì)

量程

1KGs, 2KGs, 4KGs, 8KGs

測(cè)量精度

滿量程達(dá)0.5%

測(cè)量參數(shù)

PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp

A/D數(shù)據(jù)采集

16Bits,旋轉(zhuǎn)分辨率:3600點(diǎn)/360º

測(cè)量結(jié)果重復(fù)度

小于0.5%

測(cè)量軟件

Windows 7運(yùn)行環(huán)境,測(cè)量數(shù)據(jù)可以EXCEL形式保存在硬盤,可隨時(shí)查詢

測(cè)量報(bào)告

透磁場(chǎng)坐標(biāo)和透磁率坐標(biāo)

合格判定

按標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行判定

 


 4、軟件界面



5、測(cè)試曲線.


質(zhì)量可靠
品質(zhì)保障,精益求精
專業(yè)廠家
1.6萬平方現(xiàn)代化園區(qū)
服務(wù)宗旨
用戶為本,誠實(shí)取信

電話:0738-8319168???? 郵箱:[email protected]????地址:湖南省婁底市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)漣濱街道二工業(yè)園創(chuàng)新三路20號(hào)

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